U53系列减压器适用于高纯气体应用，采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。
结构特点：
316L不锈钢母体
膜片式硬密封，泄漏率低
可采用面板安装和后座安装
压力表标准连接：1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)
内部电解抛光
专为高纯净应用生产制造
高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
使用寿命长
100%氦气测试
材质：
母体：316L, Hastelloy®
阀座：PCTFE
膜片：Elgiloy®, Hastelloy®
上盖：316, Hastelloy®
功能特性：
流量：Cv=0.054
母体泄漏率：2×10-8 atm cc/sec He
阀座泄漏率：4×10-8 atm cc/sec He
设计验证压力：最大额定压力的150%
设计爆破压力：最大额定压力的400%
工作条件：
最大的入口压力：300 psi (20 bar)
出口压力：0~30 psi (2 bar),
温度：-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道表面：
标准：Ra 20 µin
内部容积：
9.3 cc
