结构特点：
适用于高纯应用
FSR，NPT，GENLOK 连接
内部无弹簧设计
膜片式硬密封，泄漏率低
高寿命
100%氦气测试
材质：
母体：316L
阀座：PCTFE
膜片：Elgiloy®
功能特性：
流量：Cv=0.2
母体泄漏率：1×10-9 atm cc/sec He
阀座泄漏率：4×10-9 atm cc/sec He
设计验证：最大工作压力的150%
设计爆破：最大工作压力的400%
工作条件：
最大工作压力：300 psi (20 bar)
最小工作压力：真空
温度：-40℃~65℃ (40°F~150°F)
气体执行器：
操作压力：70~125 psi
入口连接：1/8" NPT(F)
工作状态：常闭、常开
表面加工：
标准 Ra 20µin
