结构特点：
适用于高洁净应用
阀门接口形式有：FSR接头，对焊管接头
阀门前后均可增加吹扫接口，方便管路清洁处理
内部无弹簧，减少污染，使气体更洁净
清洁符合ASTM G93C 标准，依 CGA G-4.1 脱脂处理
膜片式硬密封，泄漏率低
使用寿命长
100%氦气测试
材质：
母体：316L不锈钢
阀座：PCTFE
膜片：Elgiloy®
功能特性：
流量：CV=2.8
母体泄漏率：1×10-8 atm cc/sec He
阀座泄漏率：4×10-9 atm cc/sec He
设计验证压力：最大额定压力的150%
设计爆破压力：最大额定压力的400%
工作条件：
最大工作压力：300 psi (20.7 bar)
最小工作压力：真空
温度：-40℃~65℃ (40°F~150°F)
流道表面：
标准 Ra (BA): 20 µin
选择 Ra (EP) : 7 µin
