U22系列单级减压器适用于高纯气体、非腐蚀性气体、腐蚀性气体和有毒气体。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计,降低泄漏率,同时提高了安全性和使用寿命。
结构特点:
316L不锈钢母体
膜片式硬密封,泄漏率低
可采用面板安装和后座安装
压力表标准连接:1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)
内部电解抛光
高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
使用寿命长
100%氦气测试
材质:
母体:316L
阀座:PCTFE, Vespel®
膜片:316L
上盖:316
功能特性:
流量:Cv=1.1
母体泄漏率:2×10-8 atm cc/sec He
阀座泄漏率:4×10-8 atm cc/sec He
设计验证压力:最大额定压力的150%
设计爆破压力:最大额定压力的400%
工作条件:
最大的入口压力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出口压力:0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)
温度:-40℃~74℃ (-40°F~165°F)
流道表面:
标准:Ra 20µin
可选:Ra 10µin
内部容积:
22.6cc