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U22系列减压器

U22系列单级减压器适用于高纯气体、非腐蚀性气体、腐蚀性气体和有毒气体。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计,降低泄漏率,同时提高了安全性和使用寿命。

结构特点:

  • 316L不锈钢母体

  • 膜片式硬密封,泄漏率低

  • 可采用面板安装和后座安装

  • 压力表标准连接:1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)

  • 内部电解抛光

  • 高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业

  • 使用寿命长

  • 100%氦气测试

材质:

  • 母体:316L

  • 阀座:PCTFE, Vespel®

  • 膜片:316L

  • 上盖:316

功能特性:

  • 流量:Cv=1.1

  • 母体泄漏率:2×10-8 atm cc/sec He

  • 阀座泄漏率:4×10-8 atm cc/sec He

  • 设计验证压力:最大额定压力的150%

  • 设计爆破压力:最大额定压力的400%

工作条件:

  • 最大的入口压力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)

  • 出口压力:0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)

  • 温度:-40℃~74℃ (-40°F~165°F)

流道表面:

  • 标准:Ra 20µin

  • 可选:Ra 10µin

内部容积:

  • 22.6cc


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