结 构 特 点
单级式减压结构
膜片与母体采用硬密封形式
母体接口螺纹:1/4" NPT (F)
安全压力:1.5 倍的最大输入压力
适用温度:-40°C~74°C (-40°F ~165°F)
泄漏率:2 x 10-8 atm.cc/sec He
CV 值:0.14
重量:0.9 kg (2.0 lbs)
材 质
母体:铜电镀
阀座:PCTFE,PTFE,Vespel®
膜片:316L,Hastelloy®
适 用 范 围
半导体制程
实验室
气相分析
测试仪表
石油化学工业
电厂设备