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R21SL 系列小流量减压器

结构特点

  • 单级式减压结构

  • 膜片与母体采用硬密封形式

  • 母体接口螺纹：1/4" NPT(F)

  • 安全压力：1.5 倍的最大输入压力

  • 适用温度：-40°C ~ 74°C (-40°F ~ 165°F)

  • 泄漏率：2 x 10-8 atm.cc/sec He

  • CV 值：0.14

  • 重量：0.9 kg (2.0 lbs)

材质

  • 母体：316L

  • 阀座：PCTFE, PTFE, Vespel®

  • 膜片：316L, Hastelloy®


适用范围

  • 半导体制程

  • 实验室

  • 气相分析

  • 测试仪表

  • 石油化学工业


工业 | 医疗
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