结 构 特 点
316L不锈钢母体
膜片式硬密封,泄漏率低
可采用面板安装和后座安装
压力表标准连接:1/4" FSR(M)
可选:1/4" FSR(F)
内部电解抛光
高清洁的组装和包装可适用于高纯洁度的半导体产业
使用寿命长
100% 氦气测试
材 质
母体:316L
阀座:PCTFE*, Vespel®
膜片:316L
上盖:316
功 能 特 性
流量:Cv=0.14
母体泄漏率:2×10-8 atm cc/sec He
阀座泄漏率:4×10-8 atm cc/sec He
设计验证压力:最大额定压力的150%
设计爆破压力:最大额定压力的400%
工 作 条 件
最大入口压力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar),
出口压力:0-25 psi (1.7 bar), 0-50 psi (3 bar), 0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar), 0-500 psi (35 bar)
温度:-40°C~ 74°C ( -40°F~165°F)
流 道 表 面
标准:Ra 20 μin
可选:Ra 10 μin
内 部 容 积
4.6 cc
*: 标准材质