结 构 特 点
膜片式硬密封，泄漏率低
可采用面板安装和后座安装
压力表标准连接：1/4" FSR(M)
可选：1/4" FSR(F)
内部电解抛光
高清洁的组装和包装可适用于高纯洁度的半导体产业
使用寿命长
100% 氦气测试
材 质
母体：316L , Hastelloy®
阀座：PCTFE
膜片：Elgiloy®, Hastelloy®
上盖：316, Hastelloy®
功 能 特 性
流量：Cv=0.054
母体泄漏率：2×10-8 atm cc/sec He
阀座泄漏率：4×10-8 atm cc/sec He
设计验证压力：最大额定压力的150%
设计爆破压力：最大额定压力的400%
工 作 条 件
最大入口压力：300 psi (20 bar),
出口压力：0-30 psi (2 bar)
温度：-18°C~ 60°C ( -0°F~140°F)
流 道 表 面
标准：Ra 20 μin
可选：Ra 10 μin
内 部 容 积
9.3 cc
