结 构 特 点
单级式减压结构
膜片与母体采用硬密封结构，并有二次密封保护
上盖带有多重密封保护和排放接口
母体接口：1/4" 面密封内螺纹
安全压力：1.5 倍最大使用压力
输入压力：500 psi, 1500 psi, 3000 psi
输出压力：0-25 psi, 0-50 psi, 0-100 psi, 0-150 psi, 0-250 psi
适用温度：-40°C ~74°C (-40°F~165°F)
泄漏率：1×10-9 mbar.l/s
CV 值：0.16
重量：1.54 kg (3.42 lbs)
材 质
母体：316L (EP)，可选 C22 哈氏合金
阀座：PCTFE
膜片：C22 哈氏合金
阀杆：C22 哈氏合金
适 用 范 围
半导体
太阳能
真空镀覆设备
特气设备
