结 构 特 点
单级式减压结构
母体进气接口:1/4" NPT(F)
安全压力:1.5 倍的最大输入压力
适用温度:-40°C ~74°C (-40°F ~165°F)
泄漏率:2×10-8 atm.cc/sec He
CV 值:0.14
重量:0.9 kg (2.0 lbs)
材 质
母体:316L
阀座:PCTFE
膜片:316L, Hastelloy®
适用范围
半导体制程
实验室
气相分析
测试仪表
石油化学工业
电厂设备