结构特点：
适用于高纯应用
FSR，NPT，GENLOK 连接
膜片式硬密封，泄漏率低
高寿命
100% 氦气测试
功能特性：
流量：Cv=0.16
母体泄漏率：1x10-9 atm cc/sec He
阀座泄漏率：4x10-9 atm cc/sec He
设计验证：最大工作压力的 150%
设计爆破：最大工作压力的 400%
表面加工：
标准 20 μin
工作条件：
最大工作压力：3500 psi ( 240 bar)
最小工作压力：真空
温度： -40°C~65°C (40°F~150°F)
材质：
母体：316L
阀座：PCTFE
膜片：Elgiloy®
